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壓電陶瓷納米臺標準線性平移臺 12~60μm

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產(chǎn)品型號：H45

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品牌	PDV/派迪威	應用領域	綜合

產(chǎn)品描述：

1、高速運動、直接驅(qū)動

2、設計小巧緊湊

3、閉環(huán)控制

4、可堆疊進行XY 運動

X 軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本。

H45 系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導向系統(tǒng)可確保平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構(gòu)，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。

壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現(xiàn)的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上，請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中，應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會損壞位移臺。

選配功能：可定制轉(zhuǎn)接工裝、可選PZT&Sensor 連接器及線纜長度、可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系、可組維、可定制其他行程。

應用領域：掃描顯微鏡、光纖端面檢測、干涉儀、測量技術(shù)、3D 錫膏檢測、光子、光纖定位、干涉、納米光刻、納米定位、電化學加。

產(chǎn)品參數(shù)：

規(guī)格型號 1	H45-01	H45-030	H45-045	H45-060	公差 8
運動軸	X	X	X	X	-
集成傳感器	SGS	SGS	SGS	SGS	-
標稱行程范圍 2（@0~+120V）	12 μm	30 μm	45 μm	60 μm	±5%
ZUI大行程范圍 2（@-20~+150V）	20 μm	40 μm	60 μm	80 μm	±20%
分辨率 3	0.1 nm	0.3 nm	0.4 nm	0.5 nm	typ.
最小移動步長 4	0.4 nm	1.0 nm	1.5 nm	2.0 nm	typ.
線性誤 cha	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	typ.
重復定位精度（全行程）	0.05%	0.05%	0.05%	0.05%	typ.
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)）	10 μrad	10 μrad	10 μrad	10 μrad	typ.
承載能力 5	50 N	50 N	50 N	50 N	Max.
諧振頻率（0g）	3000 Hz	2500 Hz	2000 Hz	1500 Hz	±20%
運動方向剛度	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	±20%
驅(qū)動機構(gòu)	PZT	PZT	PZT	PZT	-
工作溫度范圍	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	typ.
線纜長度 6	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	-	-	-	-	-
外形尺寸（長×寬×高）	45 ×45 ×15 mm	45 ×63 ×15 mm	45 ×81 ×15 mm	45 ×99 ×15 mm	-
重量 7	65 g	100 g	150 g	200 g	±5%
PZT&Sensor 連接器	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	-
本體材質(zhì)	鋁	鋁	鋁	鋁	-