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大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)：NM-200

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品牌	PDV/派迪威	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

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產(chǎn)品描述：

NM-200緊湊型線性納米定位臺(tái)，沿Z方向可提供200μm行程的運(yùn)動(dòng)。其緊湊的設(shè)計(jì)使其成為許多光子學(xué)和光纖定位應(yīng)用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺(tái)是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的線性位移臺(tái)，由于固態(tài)彎曲和平行結(jié)構(gòu)，這些壓電平臺(tái)可以在X和Z方向上移動(dòng)而沒有任何機(jī)械間隙。它們可提供比機(jī)械或機(jī)電系統(tǒng)更高的分辨率。

NM-200系列位移臺(tái)可以輕松地與XY和壓電偏轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)合使用，以提供所有自由度的定位。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，還可以補(bǔ)償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計(jì)。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。

NM-200非常適用于小部件例如反射鏡和激光二極管）的納米級(jí)精確定位，特別是在需要長(zhǎng)期穩(wěn)定性的應(yīng)用中。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)	NM-200	NM-200S	公差
運(yùn)動(dòng)軸	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)	200μm	200μm	±10%
最大行程范圍(@-20~+150V)	240μm	240μm	±20%
分辨率	1.8nm	3.6nm	typ.
最小移動(dòng)步長(zhǎng)	7.0nm	7.0nm	typ.
線性誤cha	——	0.02%~0.05%	typ.
重復(fù)定位精度(全行程)	——	0.05%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	10μrad	10μrad	typ.
承載能力	5N	5N	Max.
諧振頻率(0g)	420Hz	420 Hz	±20%
運(yùn)動(dòng)方向剛度	0.5N/μm	0.5N/μm	±20%
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力	30N/10N	30N /10N	±20%
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長(zhǎng)度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(長(zhǎng)×寬×高)	54×54×25mm	54×54×25mm	——
重量	95g	95g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	——
本體材質(zhì)	鋼、鋁	鋼、鋁	——